| 摘要 |
Verfahren zur rastermikroskopischen Abbildung eines Objektes (28), mit folgenden Schritten: Abtasten einer Vielzahl von Objektpunkten mittels eines Abtaststrahls (14) in aufeinander folgenden Abtastzeitintervallen, mehrmaliges Erfassen der Intensität der von dem jeweils abgetasteten Objektpunkt abgegebenen Strahlung innerhalb des zugehörigen Abtastzeitintervalls, Bestimmen eines Intensitätsmittelwertes aus den in dem jeweils abgetasteten Objektpunkt erfassten Intensitäten als Mittelwert-Bildpunktsignal, und Zusammensetzen der Mittelwert-Bildpunktsignale zu einem Mittelwert-Rasterbildsignal, dadurch gekennzeichnet, dass aus den in dem jeweils abgetasteten Objektpunkt erfassten Intensitäten zusätzlich ein Intensitätsvarianzwert als Varianz-Bildpunktsignal bestimmt wird, und die Varianz-Bildpunktsignale zu einem Varianz-Rasterbildsignal zusammengesetzt werden. |
