发明名称 Optische Messvorrichtung, insbesondere Autokollimationsfernrohr, mit verringerter Messabweichung
摘要 Optische Messvorrichtung (10), insbesondere Autokollimationsfernrohr, zum Messen einer Eigenschaft eines Messobjekts (12), mit einer optischen Sensoreinrichtung (16) und einem Hohlzylinderelement (18), das derart relativ zu der optischen Sensoreinrichtung (16) angeordnet ist, dass ein Messstrahlengang (34, 38) zwischen der optischen Sensoreinrichtung (16) und dem Messobjekt (12) durch das Hohlzylinderelement (18) und entlang einer Längsachse (36) des Hohlzylinderelements (18) verläuft, wobei das Hohlzylinderelement (18) ein sensornahes Ende (20) und ein sensorfernes Ende (22) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass das Hohlzylinderelement (18) an dem sensornahen Ende (20) mindestens eine erste Fluiddurchtrittsöffnung (68) und an dem sensorfernen Ende (22) mindestens eine zweite Fluiddurchtrittsöffnung (70) aufweist, wobei an der mindestens einen ersten Fluiddurchtrittsöffnung (68) und an der mindestens einen zweiten Fluiddurchtrittsöffnung (70) eine Lichtfalle (74, 76) angeordnet ist, und wobei die Lichtfalle (74, 76) als ein das Hohlzylinderelement (18) umgebendes Ringelement (74) aus einem geschäumten Kunststoff ausgebildet ist.
申请公布号 DE102013102816(B4) 申请公布日期 2016.03.24
申请号 DE201310102816 申请日期 2013.03.19
申请人 CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH 发明人 SEITZ, DOMINIK;SAGEMÜLLER, RAINER
分类号 G01B11/26;G01N21/03;G02B23/00 主分类号 G01B11/26
代理机构 代理人
主权项
地址