| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Innenbehandlung, insbesondere zur Innenbeschichtung eines Rohres (2, 4, 6), bei dem innerhalb des zu behandelnden bzw. zu beschichtenden Rohres (2, 4, 6) ein Plasma (36, 72, 132) erzeugt wird und bei dem das Plasma (36, 72, 132) unter Verwendung eines durch das Rohr (2, 4, 6) bewegten Plasmaerzeugungsmoduls (12, 42, 62, 82, 112, 122, 162) erzeugt wird. Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Innenbehandlung, insbesondere zur Innenbeschichtung eines Rohres (202), bei dem innerhalb des Rohres (202) ein induktiv oder kapazitiv gekoppeltes Plasma (206) erzeugt wird und optional ein Precursor (38) derart mit dem Plasma (206) in Wechselwirkung gebracht wird, dass sich auf der Innenseite des Rohres (202) eine Beschichtung (8) bildet. Weiterhin betrifft die Erfindung eine Vorrichtung (10, 40, 60, 80, 110, 120, 140, 160) eingerichtet zur Durchführung eines dieser Verfahren oder aufweisend jeweilige Mittel zur Durchführung eines der dieser Verfahren sowie eine Vorrichtung (10, 40, 60, 80, 110, 120, 140, 160) zur Innenbehandlung, insbesondere zur Innenbeschichtung eines Rohres (2, 4, 6) mit einem Plasmaerzeugungsmodul (12, 42, 62, 82, 112, 122, 162), das dazu eingerichtet ist, durch ein Rohr (2, 4, 6) bewegt zu werden und innerhalb des Rohres (2, 4, 6) ein Plasma (36, 72, 132) zu erzeugen, und mit einem Transportmechanismus (16), der dazu eingerichtet ist, das Plasmaerzeugungsmodul (12, 42, 62, 82, 112, 122, 162) durch das Rohr (2, 4, 6) hindurch zu bewegen. |
