Verfahren zum Aufbauen eines Wärmetauschers sowie Wärmetauschervorrichtung

摘要

Verfahren zum Aufbauen eines Wärmetauschers zum Kühlen einer oder mehrerer Halbleiterkomponenten, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist: Bereitstellen eines ersten und zweiten planaren Blatts einer wärmeleitenden Folie, wobei jedes der Blätter eine Außenseite und eine Innenseite aufweist; Bilden eines oder mehrerer Thermokontaktknoten in dem ersten Blatt, wobei sich jeder Thermokontaktknoten von der Außenseite des ersten Blatts nach außen erstreckt und ein planares Kontaktelement und einen oder mehrere Seitenabschnitte aufweist, wobei die Seitenabschnitte und das Kontaktelement eines Thermokontaktknotens gemeinsam eine Kühlmittelkammer bilden; wobei die Seitenabschnitte von mindestens einem der Thermokontaktknoten jeweils elastische Komponenten, die jeweils eine Balgstruktur aufweisen, aufweisen, die gemeinsam das Kontaktelement des Thermokontaktknotens befähigen, sich zu der Außenseite des ersten Blatts hinzubewegen und davon wegzubewegen, Anordnen von Kanalsegmenten entlang der Innenseite des ersten Blatts, wobei sich jedes Kanalsegment zwischen den Kühlmittelkammern von zwei oder mehr Thermokontaktknoten oder zwischen der Kühlmittelkammer eines Thermokontaktknotens und wahlweise einem Eingangsanschluss oder einem Ausgangsanschluss erstreckt; und Zusammenfügen der Innenseite des zweiten Blatts mit der Innenseite des ersten Blatts, um einen abgedichteten Strömungsweg zu bilden, der jedes Kanalsegment aufweist und ermöglicht, dass flüssiges Kühlmittel in die und aus der Kühlmittelkammer jedes Thermokontaktknotens fließt.