| 摘要 |
본 발명의 실시예는 기판을 반송하는 중에 액 처리하는 장치를 제공한다 반송 유닛은 기판을 지지하는 반송 샤프트 및 상기 반송 샤프트가 회전되도록 상기 반송 샤프트에 구동력을 제공하는 구동 어셈블리를 포함하되, 상기 구동 어셈블리는 구동 샤프트 및 상기 구동 샤프트의 외측면을 둘러싸며, 내부에 버퍼공간이 형성되고 상기 버퍼공간과 통하는 배출유로가 형성되는 하우징을 포함한다. 하우징에는 버퍼공간과 통하는 배출유로가 형성되므로, 버퍼공간에 유입된 미스트 또는 처리액은 배출유로로 배출될 수 있다. |
