| 摘要 |
본 발명은 기판의 병진 운동 및/또는 정렬을 위한 위치 설정 장치, 상응하는 방법 및 컴퓨터 프로그램 제품에 관한 것이다. 위치 설정 장치는, 서로에 대해 평행하게 정렬되고 종방향으로 연장되고 제1 변위 방향(x)을 사전 설정하는 지지 레일(16, 18, 20)을 구비하여 이동면(x, y) 내에서 연장되는 기부(12)와, 캐리어(30)를 포함하며, 캐리어(30)는 제어 가능한 자기 베어링(40, 42, 44)에 의해 무접촉으로 제1 변위 방향(x)을 따라 변위 가능하게 기부(12)에 지지되며, 캐리어(30)는 자기 베어링(40, 42, 44)에 의해 기부(12)의 세 개 이상의 지지 레일(16, 18, 20)에 지지되며, 세 개 이상의 지지 레일(16, 18, 20)은 제1 변위 방향(x)에 대해 수직 방향(y)으로 서로에 대해 이격되어 배치된다. |
