一种电磁驱动式微机械可调谐珐珀滤波器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种电磁驱动式微机械可调谐珐珀滤波器及其制作方法，属于智能光功能器件领域，主要涉及印刷电路板技术、微加工技术、干涉滤波技术以及电磁驱动技术等。该可调谐珐珀滤波器，主要包括可动镜面支撑4、固定镜面支撑2、第一反射镜8、第二反射镜14、永磁体16和线圈6，所述部件均容纳于箱体1和盖板5形成的空腔内。本发明提出的基于印刷电路板的电磁驱动式可调谐珐珀滤波器具有比静电驱动大的多的可调谐范围，能大幅度增大器件的工作波段；通过调节不同子线圈内电流的大小与方向可以微调器件可动部分，从而克服加工及装配误差，保持上下两镜面平行；同时其制作工艺采用机械加工、标准PCB加工、粘接等工艺，成本低、加工周期短、工艺成熟。本发明将促进微机械可调谐珐珀滤波器在实际系统中的应用推广。

主权项

基于印刷电路板的电磁驱动式可调谐珐珀滤波器，其特征在于，主要包括可动镜面支撑4、固定镜面支撑2、第一反射镜8、第二反射镜14、永磁体16和线圈6，所述部件均容纳于箱体1和盖板5形成的空腔内；所述可动镜面支撑4和固定镜面支撑2分别以与盖板5平行的角度置于箱体1内，两者之间通过第一间隔层3间隔，可动镜面支撑4与永磁体16之间则通过第二间隔层17间隔；所述可动镜面支撑4包含一个中间镜面和一个外周框架，所述中间镜面通过直梁、蟹臂梁或折叠梁等不同结构形式的支撑梁13悬置于外周框架内部；第一反射镜8制作在第一薄膜支撑7上，且通过第一薄膜支撑7置于可动镜面支撑4的中间镜面上，第二反射镜14制作在第二薄膜支撑15上，且通过第二薄膜支撑15置于固定镜面支撑2上；第一反射镜8和第二反射镜14为内侧相对布置；盖板5、可动镜面支撑4、固定镜面支撑2及箱体1的底部，在与第一反射镜8和第二反射镜14对应的位置上，分别开有盖板通光孔9、可动镜面支撑通光孔10、固定镜面支撑通光孔11和箱体通光孔12；所述盖板5内侧有环状且具有相应通光孔的永磁体16；可动镜面支撑4上有用标准PCB生产工艺制作的线圈6；所述线圈6由多个周向布置的子线圈组成。