PERC晶体硅太阳能电池生产中的碱抛光方法

摘要

本发明属于太阳能电池的制造技术，涉及一种PERC晶体硅太阳能电池生产中的碱抛光方法。该方法步骤如下：对单晶硅片进行常规的制绒、扩散、刻蚀槽去除边缘与背面的PN结、正面PECVD镀氮化硅膜工序后，利用带式传动方式刻蚀去除背表面及边缘绕镀氮化硅，然后经过碱槽进行背表面抛光处理；再通过原子层沉积背面镀氧化铝薄膜后，进行常规的激光开槽、丝网印刷正背面金属浆料、烧结工序，制得PERC电池片。本发明将碱抛光工艺整合到现有PERC电池生产工艺中，解决了目前碱抛光引进过程中生产工序复杂，可控性差及正面膜层绕镀导致背表面钝化效果不佳等问题，使得基于碱抛光的PERC电池生产能够较好地适应量产的要求。

主权项

一种PERC晶体硅太阳能电池生产中的碱抛光方法，其特征是：对单晶硅片进行常规的制绒、扩散、刻蚀槽去除边缘与背面的PN结、正面PECVD镀氮化硅膜工序后，利用带式传动方式刻蚀去除背表面及边缘绕镀氮化硅，然后经过碱槽进行背表面抛光处理；再通过原子层沉积背面镀氧化铝薄膜后，进行常规的激光开槽、丝网印刷正背面金属浆料、烧结工序，制得PERC电池片。