METHOD FOR PRODUCING CYLINDRICAL NANOIMPRINTING MOLD AND METHOD FOR PRODUCING NANOIMPRINTING REPRODUCTION MOLD

摘要

원기둥형상의 알루미늄 기재의 외주면이 균일하게 연마되고, 상기 외주면을 유효하게 활용할 수 있는 원기둥형상 나노임프린트용 몰드의 제조방법을 제공한다. 원기둥형상의 알루미늄 기재 10의 외주면 14 전체를 연마체 26으로 연마한 후에, 알루미늄 기재 10의 외주면 14에 산화피막을 형성하는 방법에 있어서, 알루미늄 기재 10의 제1 단부 10a측과 제2 단부 10b측에서 연마체 26의 적어도 일부가 밀려나오도록 연마체 26을 축방향으로 이동시켜서 연마하되, 연마체 26에서의 알루미늄 기재 10으로부터 밀려나온 부분을 원기둥형상의 제1 지지부재 18 및 제2 지지부재 20 상에 배치하고, 그들에 의해 지지한다.