| 摘要 |
본 발명은, 레어 어스를 비롯하여 연마제나 지립을 일체 사용하지 않고 또한 불화수소 등과 같이 취급이 어렵고 환경부하가 큰 용액을 일체 사용하지 않고 광학글래스 재료 등의 고체산화물을, 가공변질층을 유입시키지 않고 가공할 수 있는 고체산화물의 가공방법 및 그 장치를 제공한다. 물(1)의 존재하에서 산소를 통하여 1종 또는 2종 이상의 원소가 결합된 고체산화물을 피가공물로 하고, 물분자가 해리되어, 고체산화물을 구성하는 산소원소와 다른 원소의 백 본드를 절단하여 흡착함으로써 가수분해에 의한 분해생성물의 생성을 돕는 촉매물질을 가공기준면(3)으로서 사용하고, 물의 존재하에서 피가공물(5)과 가공기준면을 접촉 또는 매우 접근시켜서 배치하고, 가공기준면의 전위를 H및 O가 발생하지 않는 범위로 하고, 피가공물과 가공기준면을 상대운동시켜서 분해생성물을 피가공물 표면으로부터 제거한다. |
