| 发明名称 | 基板处理设备以及拆分和组装所述基板处理设备的方法 | ||
| 摘要 | 一种基板处理设备，包括：包括具有开口部分的腔体和用于封闭所述开口部分的门的腔室；连接至所述门的基板支撑件；以及包括转动轴的门操作部件，所述转动轴用于沿直线移动所述门和转动所述门，通过沿直线移动所述门而使所述门与所述腔体以平行的方式互相分离。 | ||
| 申请公布号 | CN102456597B | 申请公布日期 | 2016.03.23 |
| 申请号 | CN201110323768.9 | 申请日期 | 2011.10.17 |
| 申请人 | 周星工程股份有限公司 | 发明人 | 林根荣;金度衡;李主日 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 兰州中科华西专利代理有限公司 62002 | 代理人 | 李艳华 |
| 主权项 | 一种基板处理设备，包括：包括腔体和门的腔室，所述腔体具有开口部分，所述门用于封闭所述开口部分；连接至所述门的基板支撑件；以及包括转动轴的门操作部件，所述转动轴用于沿直线移动所述门和转动所述门，通过沿直线移动所述门而使所述门与所述腔体以平行的方式互相分离，其中所述门操作部件还包括：连接至所述门的主部件；以及连接至所述主部件并且形成在所述腔室的侧表面上的固定部件，并且其中所述转动轴与所述主部件和所述固定部件连接，并且所述主部件围绕所述转动轴转动。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||