| 发明名称 | 双轴驱动机构及芯片接合机 | ||
| 摘要 | 本发明提供包括Z轴的双轴驱动机构以及采用它的芯片接合机，其能够以简单的结构减少由Y（水平）轴造成的振动，或者能够实现升降轴的高速化。本发明具有：处理部；第一直线电动机，具备沿着第一直线导向件升降所述处理部的第一可动部和第一固定部；第二直线电动机，具备使所述处理部向与所述升降的方向垂直的水平方向移动的第二可动部和第二固定部；支撑体，固定所述第一固定部；第二直线导向件，设在所述支撑体和所述第二固定部之间，并使所述第二固定部自由地移动；以及控制部，根据检测所述第一可动部相对于所述支撑体的所述水平方向的位置的线性传感器的输出，控制所述第一可动部的所述水平方向的位置。 | ||
| 申请公布号 | CN103295932B | 申请公布日期 | 2016.03.23 |
| 申请号 | CN201210292617.6 | 申请日期 | 2012.08.16 |
| 申请人 | 捷进科技有限公司 | 发明人 | 石井良英;望月政幸;栗原芳弘 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 丁文蕴;郑永梅 |
| 主权项 | 一种双轴驱动机构，其特征在于，具有：处理部；第一直线电动机，具备沿着第一直线导向件升降所述处理部的第一可动部和第一固定部；第二直线电动机，具备使所述处理部向与所述升降的方向垂直的水平方向移动的第二可动部和第二固定部；支撑体，固定所述第一固定部；第二直线导向件，设在所述支撑体和所述第二固定部之间，并使所述第二固定部自由地移动；线性传感器，检测所述第一可动部相对于所述支撑体的所述水平方向的位置；以及控制部，根据所述线性传感器的输出，控制所述第一可动部的所述水平方向的位置。 | ||
| 地址 | 日本山梨县 | ||