发明名称 |
一种光信号触发式测头 |
摘要 |
一种光信号触发式测头,包括外壳和设置在外壳内由弦张紧支撑的测针支架,测针固定在测针支架上,弦连接至外壳,通过调节弦的张力实现对测针支架的支撑力和复位力;进一步地,测针支架上布置有柱形永磁铁,此永磁铁与布置在外壳上的环形永磁铁极性相对安装,该对永磁铁间的斥力提供测针支架的复位力。测针支架上安装有反射镜,反射镜将来自光源系统的光反射至光电传感系统;测针碰触工件时引起测针支架摆动,进而引起反射镜偏摆,使得反射光偏离原中心位置而导致光电传感系统接收的光强产生变化,进而使输出的电信号产生变化,测针退离工件时测针支架在弦张紧力的作用下复位。该触发式测头具有较高的分辨率和精度、极小的各向异性。 |
申请公布号 |
CN105423914A |
申请公布日期 |
2016.03.23 |
申请号 |
CN201510767945.0 |
申请日期 |
2015.11.11 |
申请人 |
清华大学深圳研究生院 |
发明人 |
梁斌;刘厚德;王学谦;陈艳华;李志恒 |
分类号 |
G01B11/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01B11/00(2006.01)I |
代理机构 |
深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 |
代理人 |
王震宇 |
主权项 |
一种光信号触发式测头,其特征在于,包括外壳和设置在所述外壳内由弦张紧支撑的测针支架,测针固定在所述测针支架上,所述弦连接至所述外壳,通过调节所述弦的张力实现对所述测针支架的支撑力和复位力;所述测针支架上安装有反射镜,所述反射镜将来自光源系统的光反射至光电传感系统;所述测针碰触工件时引起所述测针支架摆动,进而引起所述反射镜偏摆,使得反射光偏离原中心位置而导致所述光电传感系统接收的光强产生变化,进而使输出的电信号产生变化,所述测针退离工件时所述测针支架在弦张紧力的作用下复位。 |
地址 |
518055 广东省深圳市南山区西丽大学城清华校区 |