| 发明名称 | 适用于高真空下的团簇沉积样品衬底座 | ||
| 摘要 | 适用于高真空下的团簇沉积样品衬底座，将衬底座设计成一个菱柱结构，菱柱横截面为正六边形，菱柱选用材料为无氧铜材质，菱柱中间为空心，加热源放置在菱柱的内部；在菱柱结构的每个柱面上开设一个大圆孔和四个螺丝孔，样品通过四个开在柱面角落的螺丝孔固定，样品的中心置于大圆孔中心。 | ||
| 申请公布号 | CN205099748U | 申请公布日期 | 2016.03.23 |
| 申请号 | CN201520887616.5 | 申请日期 | 2015.11.10 |
| 申请人 | 苏州新锐博纳米科技有限公司 | 发明人 | 邵玮 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01)I;G01N1/28(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/50(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人 | 陈建和 |
| 主权项 | 适用于高真空下的团簇沉积样品衬底座，其特征是将衬底座设计成一个菱柱结构，菱柱横截面为正六边形，菱柱选用材料为无氧铜材质，菱柱中间为空心，加热源放置在菱柱的内部；在菱柱结构的每个柱面上开设一个大圆孔和四个螺丝孔，样品通过四个开在柱面角落的螺丝孔固定，样品的中心置于大圆孔中心。 | ||
| 地址 | 215000 江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路99号D区212室 | ||