一种设有压强平衡器的热真空干燥装置及压强平衡器

摘要

本发明提供一种热真空干燥装置，包括腔室，在腔室的两侧面设有真空吸附口，抽真空支管道的一端连接所述真空吸附口，另一端汇合于抽真空主管道的一端，抽真空主管道的另一端连接真空泵单元，在抽真空支管道与抽真空主管道的汇合处设有压强平衡器；所述压强平衡器包括U型管与抽真空主管道漏斗状部分，抽真空支管道延伸至所述U型管的底部，U型管的顶部密封，U型管两侧设有气孔；所述U型管通过所述气孔连通横向设置的抽真空主管道漏斗状部分。本发明通过压强平衡装置的U型管的缓冲作用，将各支管道压强调节一致，从而使HVCD腔室整体和局部压强保持稳定，聚酰亚胺溶液气流恒定，减少MURA缺陷，改善了柔性基板的膜质，提高制程良率。

主权项

一种热真空干燥装置，包括腔室，在腔室的两侧面设有真空吸附口，抽真空支管道的一端连接所述真空吸附口，另一端汇合于抽真空主管道的一端，抽真空主管道的另一端连接真空泵单元，或者连接抽真空泵单元与溶剂捕集单元的集合单元，其特征在于：在抽真空支管道与抽真空主管道的汇合处设有压强平衡器；所述压强平衡器包括U型管与抽真空主管道漏斗状部分，抽真空支管道延伸至所述U型管的底部，U型管的顶部密封，U型管两侧设有气孔；所述U型管通过所述气孔连通横向设置的抽真空主管道漏斗状部分。