一种用于永磁体防腐前处理的气相沉积方法

摘要

一种用于永磁体防腐前处理的气相沉积方法涉及材料的表面处理领域。本发明采用物理气相沉积技术，在NdFeB表面沉积纳米多层结构薄膜，该步骤之前可钝化NdFeB表面，该步骤之后可采用电泳方法沉积涂层。本发明公开了一种采用气相沉积技术对磁性材料NdFeB进行前处理，以代替磷化的方法。采用该技术能够克服磷化工艺导致的NdFeB磁性能损伤。该方法绿色无污染，工艺参数易控，应用前景广泛。采用该方法制备的过渡族金属/氮化物复合涂层与钕铁硼永磁体的结合性能优良，与电泳或电镀工艺配合，能够显著提高钕铁硼永磁体的耐腐蚀性能。

主权项

一种用于永磁体防腐前处理的气相沉积方法，其特征在于包括以下步骤：1)、将钕铁硼永磁体进行表面预处理(1.1)将钕铁硼永磁体进行打磨处理；(1.2)将步骤(1.1)中经打磨处理后的钕铁硼永磁体置于盛装有除油液的超声波清洗器中进行超声波辅助除油处理；(1.3)将步骤(1.2)中经超声波辅助除油处理后的钕铁硼永磁体置于盛装有除锈液的超声波清洗器中进行超声波辅助除锈处理；(1.4)将步骤(1.3)中经超声波辅助除锈处理后的钕铁硼永磁体置于煮沸的去离子水中进行封孔处理；所述封孔处理的时间为10min～20min；2)、将表面预处理后的钕铁硼磁体进行镀膜处理(2.1)将第1)步处理后的钕铁硼磁体装入离子镀膜机真空室，抽真空至真空度<7.6×10^‑3Pa；(2.2)通入氩气至真空度3～4Pa；(2.3)接通负偏压电源，在钕铁硼磁体和真空室壳体之间加上800～1000V电压；通过辉光溅射清洗对NdFeB表面进行净化、活化预处理，清除磁体表面的油膜和氧化膜，时间10～15min；(2.4)减少氩气量至真空度3～5×10^‑1Pa；(2.5)接通电弧源或溅射源电源，交替沉积过渡族金属和过渡族金属氮化物；仅通入氩气时，沉积金属；通入氩气和氮气时，沉积氮化物；所述过渡族金属包括钛、锆、铬、钽和铪；沉积氮化物时，通入Ar与N₂分压比为3:1～5:1；沉积金属锆或氮化锆时，偏压降低至70～200V；沉积结束后关闭电弧源或溅射源，关闭偏压，等待温度降低到100℃下，取出磁体；3)、在所述气相沉积层上采用电泳的方法继续沉积涂层(3.1)将第2)步处理后的磁体放入环氧电泳漆的电泳池中；(3.2)电泳初始电压80V～90V，沉积电压120～140V，时间2～3min，温度25～30℃；获得电泳涂层厚度为20～30微米；(3.3)将电泳处理后的磁体在去离子水中冲洗；(3.4)烘烤固化；先在温度80℃烘烤20min；然后升高温度到180℃，烘烤时间20min。