粉尘颗粒检测设备

摘要

本发明实施例提供一种粉尘颗粒检测设备，包括：颗粒分离腔体，开有入气口和出气口，内有至少两级颗粒分离机构，每级均包括一冲撞部和一管道，管道一端伸向本级冲撞部的一面，冲撞部面向本级管道的一面为凹形冲撞面；第一级的管道另一端伸向入气口，第一级之外的管道另一端伸向上一级冲撞部的另一面；颗粒分离腔体的出气口低于最后一级颗粒分离机构；检测腔体，腔体壁一端为QCM的检测面，腔体壁开有入气口和出气口，入气口与颗粒分离腔体的出气口通过连接管道连通，且连接管道外壁分别与检测腔体的入气口和颗粒分离腔体的出气口密封连接，检测腔体的出气口处设置有抽气装置；QCM的电路部，与检测面电连接。实现对粉尘颗粒的高精度检测。

主权项

一种粉尘颗粒检测设备，其特征在于，包括：颗粒分离腔体，所述颗粒分离腔体的腔体壁开有一入气口和一出气口；所述颗粒分离腔体内设置有至少两级颗粒分离机构；每级颗粒分离机构均包括一冲撞部和一管道；每级颗粒分离机构的管道一端伸向本级颗粒分离机构的冲撞部的一面，每级颗粒分离机构的冲撞部面向本级颗粒分离机构的管道的一面为凹形冲撞面；第一级颗粒分离机构的管道另一端伸向所述入气口，第一级之外的颗粒分离机构的管道另一端伸向上一级颗粒分离机构的冲撞部的另一面；所述颗粒分离腔体的出气口低于最后一级颗粒分离机构；检测腔体，所述检测腔体的腔体壁一端为质量负载效应传感器的检测面，所述检测腔体的非检测面的腔体壁开有一入气口和一出气口，所述检测腔体的入气口与所述颗粒分离腔体的出气口通过连接管道连通，且所述连接管道外壁分别与所述检测腔体的入气口和所述颗粒分离腔体的出气口密封连接，所述检测腔体的出气口处设置有第一抽气装置；质量负载效应传感器的电路部，与所述检测面电连接。