一种生产氮化硅的系统

摘要

本实用新型公开了一种生产氮化硅的系统，包括：第一反应器；加热装置，该加热装置与所述第一反应器连接；淋洗塔，该淋洗塔的第一进料口与所述加热装置连接。该系统可以将制备过程中生成的氨气再利用与第二氯硅烷反应，重新生成了制备氮化硅所需的中间体第二含氮硅烷化合物，从而节约了成本。

主权项

一种生产氮化硅的系统，其特征在于，包括：第一反应器，用于载气中原料第一氯硅烷与原料第一氨气反应，得到第一固体混合物和第一气体混合物，其中，所述第一固体混合物包括所述第一氯硅烷与所述第一氨气反应生成的第一含氮硅烷化合物和第一氯化铵，所述第一气体混合物包括载气和第一氨气；加热装置，与所述第一反应器连接，所述第一反应器内的所述第一固体混合物进入所述加热装置，所述加热装置用于加热所述第一固体混合物反应，得到第二固体物质和第二气体混合物，其中，所述第二气体混合物包括所述第一氯化铵经过加热生成的氨气和氯化氢，所述第二固体物质包括所述第一含氮硅烷化合物经过加热生成的高α相含量的氮化硅；淋洗塔，与所述加热装置连接，所述第二气体混合物进入所述淋洗塔，所述淋洗塔用于通入第二氯硅烷对所述第二气体混合物进行淋洗，得到第三固体混合物和第三气体物质，其中，所述第三固体混合物包括所述第二氯硅烷与所述第二气体混合物中的氨气反应生成的第二含氮硅烷化合物和第二氯化铵，所述第三气体物质包括氯化氢。