发明名称 高纯度高密度WO<sub>3</sub>/S核壳结构纳米颗粒的制备方法
摘要 本发明涉及一种高纯度高密度WO<sub>3</sub>/S核壳结构纳米颗粒的制备方法,属于材料制备技术领域。本发明采用真空管式炉,以氧化钨和硫粉为蒸发源,通过热蒸发的方法,在载气保护下,在表面平整、光洁的硅片、砷化镓片、蓝宝石片或碳化硅单晶片上,一步合成沉积得到高密度的WO<sub>3</sub>/S核壳结构纳米颗粒,其内核为单晶WO<sub>3</sub>,外壳为非晶单质S。该方法具有沉积条件严格可控、设备和工艺简单、产量大、成本低等优点。所获得的纳米结构产物纯度高,其内核和外壳的直径分布均匀,颗粒大小可控;这种纳米颗粒在压敏电阻,气体传感器和催化剂等方面有广泛的应用前景。
申请公布号 CN103469155B 申请公布日期 2016.03.23
申请号 CN201310422712.8 申请日期 2013.09.16
申请人 中国地质大学(北京) 发明人 钱静雯;彭志坚;符秀丽;王成彪;付志强;岳文
分类号 C23C14/06(2006.01)I;C30B23/00(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I 主分类号 C23C14/06(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 高纯度高密度WO<sub>3</sub>/S核壳结构纳米颗粒的制备方法,其特征在于:所述核壳结构纳米颗粒内核为单晶WO<sub>3</sub>,外壳为非晶单质S;所述方法通过热蒸发WO<sub>3</sub>粉和S粉在基片上沉积WO<sub>3</sub>/S核壳结构纳米颗粒,包括以下步骤:(1)在真空管式炉中,将分别装有WO<sub>3</sub>粉和S粉的氧化铝陶瓷坩埚、或者装有WO<sub>3</sub>和S混合粉的氧化铝陶瓷坩埚放置在炉中央的加热区域,其中分别蒸发时WO<sub>3</sub>粉放在炉中高温加热区而S粉放在炉中低温加热区且二者相距10‑15mm,而混合蒸发时,则需将WO<sub>3</sub>粉和S粉的质量比控制在10∶1到100∶1之间;在其气流下游距离装有WO<sub>3</sub>粉的坩埚20‑30mm处温度较低的区域放置基片;(2)在加热前,先对整个系统抽真空,然后向系统中通入高纯惰性载气,并重复多次,以排除系统中的空气;然后以15‑30℃/min速率升温到900‑1100℃,并保温2‑4小时;在加热过程中,保持载气流量为100‑300标准立方厘米每分钟,且整个加热过程在惰性载气保护下完成,最后自然降温到室温,即可在基片上得到高纯度、高密度WO<sub>3</sub>/S核壳结构纳米颗粒。
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