发明名称 |
结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置 |
摘要 |
本发明公开了一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置,包括真空镀膜机腔体,所述真空镀膜机腔体外侧壁上固定扣设有若干条一侧开口的管壳,该管壳开口侧朝向真空镀膜机腔体,该管壳与真空镀膜机腔体外侧壁之间形成供冷却水流通的通道,该通道内设有流动的冷却水,所述管壳沿其长度方向的两端分别设有进、出水口,本发明冷却水直接与真空镀膜机腔体接触,快速的将其表面的热量带走,冷却速度快,冷却及时、充分,有效保护了真空镀膜机,延长了其使用寿命。 |
申请公布号 |
CN103290360B |
申请公布日期 |
2016.03.23 |
申请号 |
CN201210054811.0 |
申请日期 |
2012.03.05 |
申请人 |
昆山浦力金属工业有限公司 |
发明人 |
成林 |
分类号 |
C23C14/22(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/22(2006.01)I |
代理机构 |
昆山四方专利事务所 32212 |
代理人 |
盛建德 |
主权项 |
一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置,包括真空镀膜机腔体,其特征在于:所述真空镀膜机腔体外侧壁(1)上固定扣设有若干条一侧开口的管壳(2),该管壳(2)开口侧朝向真空镀膜机腔体,该管壳(2)与真空镀膜机腔体外侧壁(1)之间形成供冷却水流通的通道,该通道内设有流动的冷却水,所述管壳(2)沿其长度方向的两端分别设有进、出水口(3、4),所述管壳(2)呈往复曲回状态均匀分布于真空镀膜机腔体轴向的两端壁和圆周外侧壁表面,所述管壳(2)形成的往复曲回结构的密度与其所在位置的真空镀膜机腔体外侧壁(1)上温度成正比。 |
地址 |
215321 江苏省苏州市昆山市张浦镇俱巷路205号 |