发明名称 エキシマランプ
摘要
申请公布号 JP5891804(B2) 申请公布日期 2016.03.23
申请号 JP20120010700 申请日期 2012.01.23
申请人 ウシオ電機株式会社 发明人 笠木 邦雄
分类号 H01J65/00;H01J61/35;H01J61/54 主分类号 H01J65/00
代理机构 代理人
主权项
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