刻划装置、刻划方法及保持具单元

摘要

本发明公开了一种刻划装置、刻划方法及保持具单元，提供能增长能使用的寿命且同时以利用刻划点形成的刻划线的方式形成高精度的刻划线的刻划装置、刻划方法及保持具单元。一种刻划装置1，具备：刻划轮31；保持具单元30，具有将刻划轮旋转自如地轴支的销32与保持销的保持具40；刻划头20，具有安装保持具单元的保持具接头21；以及载台14，载置脆性材料基板15，其特征在于，具备旋转抑制部60，在对刻划轮施加载重后，抑制刻划轮的旋转。

主权项

一种刻划装置，具备：保持具单元，具有刻划轮、将前述刻划轮旋转自如地轴支的销、通过将前述销往插入孔插入以保持前述销的保持具；刻划头，具有安装前述保持具单元的保持具接头；以及载台，载置脆性材料基板；通过对前述刻划轮施加载重以于载置于前述载台上的脆性材料基板的表面形成刻划线，其特征在于：具备旋转抑制部，当前述刻划轮接触前述脆性材料基板时，抑制前述刻划轮的旋转。