一种硅片切割液回收槽

摘要

本发明公开了一种硅片切割液回收槽，包括槽体，所述槽体内设有溢流隔板将槽体分隔成沉降槽和溢流槽，所述沉降槽的侧壁的上部设有切割液进口；所述沉降槽内还水平的设有网架，该网架上铺设有微孔滤膜，所述溢流槽的底部设有切割液出口；所述溢流隔板的高度低于槽体的高度。本发明能在切割的同时对切割液进行过滤筛选维护，延长切割液的使用寿命；并能对接近报废的切割液进行初筛，有理由后续的聚乙二醇的回收。

主权项

一种硅片切割液回收槽，其特征在于：包括槽体，所述槽体内设有溢流隔板将槽体分隔成沉降槽和溢流槽，所述沉降槽的侧壁的上部设有切割液进口；所述沉降槽内还水平的设有网架，该网架上铺设有微孔滤膜，所述溢流槽的底部设有切割液出口；所述溢流隔板的高度低于槽体的高度。