发明名称 |
一种反射式NEA GaN纳米线阵列光电阴极及制备方法 |
摘要 |
本发明提出一种反射式NEA GaN纳米线阵列光电阴极及制备方法,所述反射式NEA GaN纳米线阵列光电阴极是在Si或者SiC衬底的表面生长p型GaN纳米线,并对生长的纳米线阵列进行Cs/O激活得到,其包括衬底层、位于衬底层表面的纳米线阵列发射层;纳米线阵列发射层由若干p型GaN纳米线组成,p型GaN纳米线表面均吸附有Cs/O激活层;所述衬底层为Si或者SiC。本发明能够在降低材料发射率的同时,减少光电子的输运距离,控制纳米线的直径充分吸收光子,提高了GaN光电阴极量子效率。 |
申请公布号 |
CN105428183A |
申请公布日期 |
2016.03.23 |
申请号 |
CN201510791534.5 |
申请日期 |
2015.11.17 |
申请人 |
南京理工大学 |
发明人 |
刘磊;夏斯浩;孔熠柯;常本康;张益军 |
分类号 |
H01J1/34(2006.01)I;H01J9/02(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I;B82Y30/00(2011.01)I |
主分类号 |
H01J1/34(2006.01)I |
代理机构 |
南京理工大学专利中心 32203 |
代理人 |
朱显国 |
主权项 |
一种反射式NEA GaN纳米线阵列光电阴极,其特征在于,包括衬底层、位于衬底层表面的纳米线阵列发射层;纳米线阵列发射层由若干p型GaN纳米线组成,p型GaN纳米线表面均吸附有Cs/O激活层。 |
地址 |
210094 江苏省南京市玄武区孝陵卫200号 |