发明名称 |
一种基于纳米二氧化钛的电路板用蚀刻液 |
摘要 |
本发明公布了一种基于纳米二氧化钛的电路板用蚀刻液,包括以下重量百分比的组合物:纳米二氧化钛 2.5%~4.5%;三氯化铁 0.5%~1.2%;硝酸 0.5%~1.6%;有机盐酸 2.5%~3.3%;非离子表面活性剂 1.5%~2.3%;稳定剂 0.5%~1.5%;消泡剂 3.5%~5.6%;其余为蒸馏水。本发明通过在原有工艺的基础上新加入了纳米二氧化钛,不仅能够在不发生抗蚀涂层渗透的情况下进行蚀刻,显著提高铬金属膜的蚀刻速度,具有蚀刻速度可控性,有效抑制抗蚀保护层的劣化,得到表面平坦光滑的铬金属膜配线,具有重要的应用价值。 |
申请公布号 |
CN105420729A |
申请公布日期 |
2016.03.23 |
申请号 |
CN201510952174.2 |
申请日期 |
2015.12.16 |
申请人 |
无锡吉进环保科技有限公司 |
发明人 |
刘进军 |
分类号 |
C23F1/26(2006.01)I;C09K13/04(2006.01)I |
主分类号 |
C23F1/26(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种基于纳米二氧化钛的电路板用蚀刻液,其特征在于,包括以下重量百分比的组合物:纳米二氧化钛 2.5%~4.5%;三氯化铁 0.5%~1.2%;硝酸 0.5%~1.6%;有机盐酸 2.5%~3.3%;非离子表面活性剂 1.5%~2.3%;稳定剂 0.5%~1.5%;消泡剂 3.5%~5.6%;其余为蒸馏水。 |
地址 |
214000 江苏省无锡市崇安区解放东路918-12B9 |