发明名称 一种基于纳米二氧化钛的电路板用蚀刻液
摘要 本发明公布了一种基于纳米二氧化钛的电路板用蚀刻液,包括以下重量百分比的组合物:纳米二氧化钛 2.5%~4.5%;三氯化铁 0.5%~1.2%;硝酸 0.5%~1.6%;有机盐酸 2.5%~3.3%;非离子表面活性剂 1.5%~2.3%;稳定剂 0.5%~1.5%;消泡剂 3.5%~5.6%;其余为蒸馏水。本发明通过在原有工艺的基础上新加入了纳米二氧化钛,不仅能够在不发生抗蚀涂层渗透的情况下进行蚀刻,显著提高铬金属膜的蚀刻速度,具有蚀刻速度可控性,有效抑制抗蚀保护层的劣化,得到表面平坦光滑的铬金属膜配线,具有重要的应用价值。
申请公布号 CN105420729A 申请公布日期 2016.03.23
申请号 CN201510952174.2 申请日期 2015.12.16
申请人 无锡吉进环保科技有限公司 发明人 刘进军
分类号 C23F1/26(2006.01)I;C09K13/04(2006.01)I 主分类号 C23F1/26(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种基于纳米二氧化钛的电路板用蚀刻液,其特征在于,包括以下重量百分比的组合物:纳米二氧化钛  2.5%~4.5%;三氯化铁  0.5%~1.2%;硝酸  0.5%~1.6%;有机盐酸  2.5%~3.3%;非离子表面活性剂  1.5%~2.3%;稳定剂  0.5%~1.5%;消泡剂  3.5%~5.6%;其余为蒸馏水。
地址 214000 江苏省无锡市崇安区解放东路918-12B9