一种温度可控的低温等离子体产生方法

摘要

本发明提供了一种温度可控的低温等离子体产生方法，属于等离子体放电反应器技术领域。在大气压室温条件下，由供气装置提供具有一定压力的气体；气体通向气体控制装置，按照一定的流量和压力输向涡流管；实时冷却后的气体进入等离子体发生器在高压电源控制下放电产生低温等离子体；温度监测装置可检测并显示涡流管冷却后的气体温度和产生的低温等离子体温度。通过电源电压、频率、气体压力和流量的配合调整，实现低温等离子体温度从200℃～-4℃范围内可控。采用无源的涡流管实时冷却工作气体，经等离子体发生器放电后可获得低温甚至低于室温的温度可控的等离子体，并且等离子体温度的控制仅需调整输入涡流管的工作气体的流量和压力。

主权项

一种温度可控的低温等离子体产生方法，其特征在于，该方法所用的装置包括供气装置、气体控制装置、涡流管、高压电源、等离子体发生器和温度监测装置；供气装置提供具有一定压力的工作气体，工作气体通向气体控制装置，按照一定的流量和压力输向涡流管；工作气体经涡流管冷却后，进入等离子体发生器；高压电源控制等离子体发生器的放电过程，并产生低温等离子体；温度监测装置用于监测冷却后的工作气体温度和产生的低温等离子体的温度；通过调整输入涡流管的工作气体压力、流量和涡流管参数，控制输入等离子体发生器的工作气体温度，控制由等离子体发生器产生的低温等离子体的温度；通过电源电压、频率、气体压力和流量的配合调整，实现低温等离子体温度从200℃～‑4℃范围内可控。