一种氧化锡基薄膜材料的制备方法

摘要

本发明公开了一种氧化锡基薄膜材料的制备方法。包括以下步骤：将乙二醇甲醚、二水合氯化亚锡、乙醇混合并搅拌，在60～80℃条件下加热15～30min，加热完毕后继续在氩气气氛中陈化1～2天，制得溶胶；在基片上滴加上述溶胶旋凃甩胶得薄膜试样；移至真空管式炉中，抽真空并通入氩气，加热干燥；真空管式炉内形成甲醛气氛，并以1～3℃/分钟速率升温，至退火温度600～650℃保温10～30min，退火完成后自然冷却，p型氧化锡基薄膜材料制备完成。引入甲醛蒸汽作为保护气氛防止Sn²⁺氧化为Sn⁴⁺，引入Sn⁰来提高薄膜的迁移率，上述方法制备的霍尔迁移率高达8.6cm²V^-1S^-1。

主权项

一种氧化锡基薄膜材料的制备方法，其特征在于包括以下步骤：1)将乙二醇甲醚、二水合氯化亚锡、乙醇胺按照(10～11)：(0.15～0.2):(0.7～1)的摩尔比混合并搅拌至澄清，移至真空管式炉中抽真空并充入氩气，在60～80℃条件下加热15～30min，加热完毕后继续在氩气气氛中陈化1～2天，制得溶胶；2)将基片固定在匀胶机上，以2000～2500转/分钟的速度旋转，在基片上滴加上述溶胶旋凃甩胶，旋转时间为20～30秒，制得薄膜试样；3)将薄膜试样移至真空管式炉中，抽真空并通入氩气，然后对薄膜试样进行加热干燥，干燥结束后自然冷却；4)向真空管式炉内通入甲醛蒸气形成甲醛气氛，以1～3℃/分钟速率升温，至退火温度600～650℃保温10～30min，退火完成后自然冷却，即制得p型氧化锡基薄膜材料。