发明名称 一种ESD保护电路
摘要 本发明涉及一种ESD保护电路,为一种可以抑制达林顿效应的二极管串结构,在P衬底的两端各设置底部连成一体的两个N阱,两个N阱之间设有P基区;并且四个N阱上各设有一个N+扩散有源区,P基区上设有P+扩散有源区和N+扩散有源区,其中四个N+扩散有源区通过导线连接,然后接电源电位VDD;第一P+扩散有源区连接电学阳极,第五N+扩散有源区与第二P+扩散有源区通过导线连接;第六N+扩散有源区连接电学阴极,本发明电路结构大大减小了流向P衬底的电流,能够有效地抑制达林顿效应,并且具有钳位能力强、泄漏电流小、单位面积抗ESD能力强的特点,能够有效地抑制闩锁效应的发生。
申请公布号 CN103165600B 申请公布日期 2016.03.23
申请号 CN201310059064.4 申请日期 2013.02.26
申请人 北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所 发明人 李永峰;张娜娜
分类号 H01L27/02(2006.01)I 主分类号 H01L27/02(2006.01)I
代理机构 中国航天科技专利中心 11009 代理人 范晓毅
主权项 一种ESD保护电路,其特征在于:P衬底(1)的一端设有底部连成一体的第一N阱(21)和第二N阱(22),第一N阱(21)和第二N阱(22)之间设有第一P基区(31);P衬底(1)的另一端设有底部连成一体的第三N阱(23)和第四N阱(24),第三N阱(23)和第四N阱(24)之间设有第二P基区(32);且第一N阱(21)上设有第一N+扩散有源区(41),第二N阱(22)上设有第二N+扩散有源区(42),第三N阱(23)上设有第三N+扩散有源区(43),第四N阱(24)上设有第四N+扩散有源区(44),第一P基区(31)上设有第一P+扩散有源区(51)和第五N+扩散有源区(45),第二P基区(32)上设有第二P+扩散有源区(52)和第六N+扩散有源区(46);所述N阱(21、22、23、24)、P基区(31、32)、P+扩散有源区(51、52)和N+扩散有源区(41、42、43、44、45、46)通过在P衬底上进行离子注入得到;所述ESD保护电路接入由电阻R、电容C、NMOS管和PMOS管构成的检测电路中,以抬高保护电压,具体电路连接关系为:电容C的一端连接电源,另一端连接电阻R的一端及NMOS管和PMOS管的栅端;PMOS管的源端连接电源VDD,NMOS管的源端连接第一P+扩散有源区(51),第六N+扩散有源区(46)连接电学阴极GND。
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