| 发明名称 | 一种用于硅片插片机的供料槽 | ||
| 摘要 | 一种用于硅片插片机的供料槽，包括供料槽槽体和水泵，所述供料槽槽体设有溢流口，该溢流口通过管路与一储液槽连通；所述供料槽槽体内设有用以盛放堆垛硅片的承托平台，该承托平台与一上下移动驱动装置的驱动部传动连接；所述供料槽槽体上设有液压传感器，该液压传感器与一计算机数控系统信号连接，所述计算机数控系统与所述水泵电连接；所述供料槽槽体内容纳有液体，液体的深度总是大于堆垛的硅片的高度。 | ||
| 申请公布号 | CN105417168A | 申请公布日期 | 2016.03.23 |
| 申请号 | CN201511029093.1 | 申请日期 | 2015.12.31 |
| 申请人 | 苏州博阳能源设备有限公司 | 发明人 | 邱文良 |
| 分类号 | B65G51/01(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | B65G51/01(2006.01)I |
| 代理机构 | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人 | 王华 |
| 主权项 | 一种用于硅片插片机的供料槽，其特征在于：包括供料槽槽体和水泵，所述供料槽槽体设有溢流口，该溢流口通过管路与一储液槽连通；所述供料槽槽体内设有用以盛放堆垛硅片的承托平台，该承托平台与一上下移动驱动装置的驱动部传动连接；所述供料槽槽体上设有液压传感器，该液压传感器与一计算机数控系统信号连接，所述计算机数控系统与所述水泵电连接；所述供料槽槽体内容纳有液体，液体的深度总是大于堆垛硅片的高度。 | ||
| 地址 | 215000 江苏省苏州市吴中区旺吴路28号 | ||