一种外光路补偿调节装置及由其构成的激光器

摘要

本发明提出一种基于转折镜调节的外光路补偿调节装置，包括转折镜、压电陶瓷微位移驱动器和可转动基座，通过改变外加在微位移驱动器电压的大小，从而带动转折镜转动，实现光路的自动补偿。在此基础上，本发明提出一种基于外光路补偿调节装置的激光器，包括激光器、外光路补偿调节装置、光路整形模块、聚焦球面镜和反馈控制模块。反馈控制模块检测输出激光，并通过光路补偿调节系统，通过调节转折镜的偏转角度，将偏移的光束调至标准位置，可以保证激光器在各个占空比下激光输出功率的稳定和模式的稳定，提高激光器的整体稳定性，进而保证射频板条激光器加工系统的高效稳定工作，保证被加工器件的加工质量，提高加工效率。

主权项

一种外光路补偿调节装置，其包括转折镜(12)、微位移驱动器(9)和可转动基座(13)，其特征在于：所述转折镜(12)呈直角三棱柱形，通过自身的一个底面固定在所述可转动基座(13)上，三棱柱形的斜面是反射面，用于将垂直于固定底面的入射激光方向，转向90度，改为平行于固定底面方向；通过所述可转动基座(13)的转动，可调节所述转折镜(12)的偏转角度；所述微位移驱动器(9)是压电陶瓷型，其一端固定，另一端由第一连杆(10)通过连杆圆轴(19)和第二连杆(11)活动连接；第二连杆(11)的另一端连接到转折镜(12)的另一个底面，第二连杆(11)中部通过固定圆轴(20)旋转固定；第一连杆(10)的水平移动能带动第二连杆(11)相对于固定圆轴(20)的转动；通过改变外加在微位移驱动器(9)上电压的大小，改变第一连杆(10)的水平位移量，带动第二连杆(11)两端绕圆轴(20)转动，从而带动其另一端固定连接的转折镜(12)转动。