发明名称 |
用于将复合体分割成半导体芯片的方法和半导体芯片 |
摘要 |
说明一种用于沿着分割图案将复合体(1)分割成多个半导体芯片(10)的方法。提供具有载体(4)、半导体层序列(2)和功能层(3)的复合体。分离槽(45)在载体中沿着分割图案来构造。功能层借助相干辐射沿着分割图案被切开。被分割的半导体芯片分别具有半导体层序列、载体和功能层的一部分。此外说明一种半导体芯片(10)。 |
申请公布号 |
CN105431252A |
申请公布日期 |
2016.03.23 |
申请号 |
CN201480045143.2 |
申请日期 |
2014.07.30 |
申请人 |
奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司 |
发明人 |
M.肯普夫 |
分类号 |
B23K26/53(2014.01)I;H01L33/00(2010.01)I;B23K101/40(2006.01)N |
主分类号 |
B23K26/53(2014.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
卢江;张涛 |
主权项 |
用于沿着分割图案(15)将复合体(1)分割成多个半导体芯片(10)的方法,具有以下步骤:a)提供复合体,所述复合体具有载体(4)、半导体层序列(2)和功能层(3);b)在载体中沿着分割图案构造分离槽(45);以及c)借助相干辐射沿着分割图案切开功能层;其中被分割的半导体芯片分别具有半导体层序列、载体和功能层的一部分。 |
地址 |
德国雷根斯堡 |