发明名称 一种MEMS气体传感器生产用自动点胶系统及其生产方法
摘要 本发明公开了一种MEMS气体传感器生产用自动点胶系统,非接触式点胶装置,其用于将浆料喷射点胶至芯片固定位置;视觉定位装置,其用于采集芯片的图片,并进行点胶位置定位;控制装置,其与所述非接触式点胶装置和视觉定位装置相连,并控制所述非接触式点胶装置和所述视觉定位装置进行点胶作业。本发明的MEMS气体传感器生产用自动点胶系统,非接触式点胶装置进行点胶作业,能够有效控制胶点大小及形貌,保证产品的一致性。
申请公布号 CN105413956A 申请公布日期 2016.03.23
申请号 CN201511019007.9 申请日期 2015.12.29
申请人 武汉巨正环保科技有限公司;武汉工程大学 发明人 刘善堂;余庚;肖丽;郑第;周发武
分类号 B05C5/00(2006.01)I;B05C11/10(2006.01)I 主分类号 B05C5/00(2006.01)I
代理机构 重庆创新专利商标代理有限公司 50125 代理人 付继德
主权项 一种MEMS气体传感器生产用自动点胶系统,其特征在于:非接触式点胶装置,其用于将浆料喷射点胶至芯片固定位置;视觉定位装置,其用于采集芯片的图片,并进行点胶位置定位;控制装置,其与所述非接触式点胶装置和视觉定位装置相连,并控制所述非接触式点胶装置和所述视觉定位装置进行点胶作业。
地址 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷大道58号关南福星医药园7栋9层01号