| 发明名称 | 基板传送装置及基板传送方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种基板传送装置及基板传送方法。本发明的基板传送装置包括托盘(1)、设于数个轴(21)上的数个传送齿轮(2)、数个升降杆(3)；托盘(1)上设有凹槽(11)，凹槽(11)底部设有数个通孔(12)，托盘(1)底部设有锯齿(13)；数个升降杆(3)可穿过数个通孔(12)上升与下降；数个传送齿轮(2)与锯齿(13)相啮合；从而通过数个轴(21)带动数个传送齿轮(2)转动，并通过数个传送齿轮(2)与锯齿(13)之间的啮合实现对托盘(1)的传送；降低了基板传送过程中破片的风险，提升了产品良率与设备的综合效率。本发明的基板传送方法，降低了基板传送过程中破片的风险，提升了产品良率与设备的综合效率。 | ||
| 申请公布号 | CN105417164A | 申请公布日期 | 2016.03.23 |
| 申请号 | CN201510883877.4 | 申请日期 | 2015.11.27 |
| 申请人 | 武汉华星光电技术有限公司 | 发明人 | 李昊 |
| 分类号 | B65G49/06(2006.01)I | 主分类号 | B65G49/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人 | 林才桂 |
| 主权项 | 一种基板传送装置，其特征在于，包括托盘(1)、位于所述托盘(1)下方分别设于数个轴(21)上的数个传送齿轮(2)、及分别位于所述数个传送齿轮(2)下方的数个升降杆(3)；所述托盘(1)上设有凹槽(11)，所述凹槽(11)底部设有数个通孔(12)，所述托盘(1)底部设有锯齿(13)；所述数个升降杆(3)可穿过所述数个通孔(12)上升与下降；所述数个传送齿轮(2)与所述锯齿(13)相啮合；从而通过所述数个轴(21)带动所述数个传送齿轮(2)转动，并通过所述数个传送齿轮(2)与所述锯齿(13)之间的啮合实现对所述托盘(1)的传送。 | ||
| 地址 | 430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋 | ||