点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法

摘要

一种点衍射干涉波像差测量仪及光学系统波像差的检测方法,所述的点衍射干涉波像差测量仪由光源、分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、理想波前发生单元、物方精密调节台、被测光学系统、像方波前检测单元、像方精密调节台和数据处理单元组成，特点在于理想波前发生单元的第一输出端和第二输出端之间的中心距离小于被测光学系统的等晕区的直径，大于被测光学系统像点弥散斑的直径除以被测光学系统的放大倍数。本发明测量仪具有检测步骤简单、测量过程具有平均效果、可实现完整数值孔径的系统误差标定和消除等优点。

主权项

一种点衍射干涉波像差测量仪，构成包括：光源(1)、分光器(2)、第一光强与偏振态调节器(3)、相移器(4)、第二光强与偏振态调节器(5)、理想波前发生单元(6)、物方精密调节台(7)、被测光学系统(8)、像方波前检测单元(9)、像方精密调节台(10)和数据处理单元(11)；所述的理想波前发生单元(6)是将从其第一输入端(6A)和第二输入端(6B)输入的光转换成在被测光学系统(8)的物方数值孔径范围内是标准球面波，并分别从其第一输出端(6C)或第二输出端(6D)输出的光学组件；其特征在于所述的理想波前发生单元(6)的第一输出端(6C)和第二输出端(6D)之间的中心距离s_o小于被测光学系统(8)的等晕区的直径，而大于被测光学系统(8)像点弥散斑的直径除以被测光学系统(8)的放大倍数。