一种单晶炉

摘要

本实用新型公开了一种安全隐患较低的单晶炉。该单晶炉，包括上炉膛、下炉膛，所述上炉膛顶部设置有籽晶旋转提升机构，下炉膛内设置有保温筒，保温筒内设置有石墨坩埚，石墨坩埚内设有石英坩埚，石墨坩埚外侧设置有加热器，石墨坩埚底部设置有坩埚旋转顶升机构，所述石墨坩埚与坩埚旋转顶升机构设置有圆形的石墨托板，石墨托板的外表面设置有环形挡板，环形挡板的上表面设置有溢流毯，溢流毯的上表面安装有溢流丝，溢流丝与报警装置相连。一旦发生硅液溢流，溢流出的硅液沿石墨托板的外表面先流到溢流毯上，高温的硅液在接触到设置在溢流毯上的溢流丝时会将溢流丝熔断，进而会使报警装置发生报警信号。适合在单晶生产设备领域推广应用。

主权项

一种单晶炉，包括上炉膛(1)、下炉膛(2)，上炉膛(1)设置在下炉膛(2)上方且上炉膛(1)通过隔离阀(3)固定在下炉膛(2)顶部，所述上炉膛(1)顶部设置有籽晶旋转提升机构(4)，所述下炉膛(2)内设置有保温筒(5)，所述保温筒(5)内设置有石墨坩埚(6)，所述石墨坩埚(6)内设有石英坩埚(7)，石墨坩埚(6)外侧设置有加热器(8)，加热器(8)位于保温筒(5)内，所述加热器(8)通过加热电极(9)固定在下炉膛(2)底部，下炉膛(2)的顶部连接有氩气管(10)，所述氩气管(10)穿过下炉膛(2)伸入到下炉膛(2)内，所述下炉膛(2)的下部设置有真空抽口(11)，所述真空抽口(11)上连接有排放管(12)，排放管(12)末端连接有真空泵(13)，真空泵(13)的进口与排放管(12)的出口相连，所述石英坩埚(7)上方设置有籽晶夹持装置(14)，所述籽晶夹持装置(14)通过传动杆(15)与籽晶旋转提升机构(4)相连，所述石墨坩埚(6)底部设置有坩埚旋转顶升机构(16)，所述石墨坩埚(6)与坩埚旋转顶升机构(16)之间设置有圆形的石墨托板(17)，其特征在于：所述石墨托板(17)的外表面设置有环形挡板(32)，所述环形挡板(32)的上表面设置有溢流毯(33)，所述溢流毯(33)的上表面安装有溢流丝，所述溢流丝围绕石墨托板(17)且设置有至少三圈，溢流丝与报警装置相连。