多层片式结构氧传感器

摘要

本发明公开了多层片式结构氧传感器，包括氧化锆敏感层、参比气通道层、加热层，所述氧化锆敏感层上表面设置有外电极，下表面设置有内电极，其特征在于，在氧化锆敏感层和参比气通道层之间设置有调节不同结构层热膨胀系数、防止层与层之间开裂的第一多孔过渡层，在参比气通道层和加热层之间设置有调节不同结构层热膨胀系数、防止层与层之间开裂的第二多孔过渡层，多层片式结构氧传感器依次排列为：氧化锆敏感层、第一多孔过渡层、参比气通道层、第二多孔过渡层和加热层。多孔过渡层可以调节不同结构层因为热膨胀而导致的层间应力，防止层与层之间开裂，保证了氧传感器的使用寿命，同时保证不同结构层之间的稳定性能，提高氧传感器的性能。

主权项

多层片式结构氧传感器，包括氧化锆敏感层、参比气通道层、加热层，所述氧化锆敏感层上表面设置有外电极，下表面设置有内电极，其特征在于，在氧化锆敏感层和参比气通道层之间设置有调节不同结构层热膨胀系数、防止层与层之间开裂的第一多孔过渡层，在参比气通道层和加热层之间设置有调节不同结构层热膨胀系数、防止层与层之间开裂的第二多孔过渡层，多层片式结构氧传感器依次排列为：氧化锆敏感层、第一多孔过渡层、参比气通道层、第二多孔过渡层和加热层，所述多孔过渡层依次包括用于紧密粘合不同结构层、调节不同结构层热膨胀系数、增加不同结构层稳定性能的稳定层，氧化锆陶瓷层，所述多孔过渡层在稳定层上还设置有提高不同结构层间力学性能匹配的氧化铝层。