上表面抗反射膜形成用组合物以及使用其的图案形成方法

摘要

本发明提供具有与以往制品同等以上的成膜性、折射率、经时稳定性以及安全性的上表面抗反射膜形成用组合物以及使用其的图案形成方法。一种上表面抗反射膜形成用组合物，其特征在于包含由下述通式(1)表示的重均分子量为300,000～800,000的含氟聚合物、碳原子数10～18的烷基磺酸以及溶剂，-Ax-By- (1)式中，A为由下述通式(A)表示的重复单元，式中，R为碳原子数1～40的含氟亚烷基或者碳原子数2～100的具有醚键的含氟亚烷基，B是可与A结合而形成共聚物的重复单元，x以及y是表示聚合比的数，并且x不为0，A和B可无规地结合，也可形成嵌段。

主权项

一种上表面抗反射膜形成用组合物，其为在使用光形成图案的光刻中使用的上表面抗反射膜形成用组合物，其特征在于，所述上表面抗反射膜形成用组合物包含由下述通式(1)表示的重均分子量为300,000～800,000的含氟聚合物、碳原子数10～18的烷基磺酸以及溶剂，‑Ax‑By‑   (1)式中，A是由下述通式(A)表示的重复单元，式中，R为碳原子数1～40的含氟亚烷基或者碳原子数2～100的具有醚键的含氟亚烷基，B是能与A结合而形成共聚物的重复单元，x以及y是表示聚合比的数，并且x不为0，A和B可无规地结合，也可形成嵌段。