定标黑体光源的制备方法及定标黑体光源

摘要

本发明提供了一种定标黑体光源的制备方法，包括如下步骤：提供薄片衬底，并在衬底表面制作第一绝缘层；在第一绝缘层背离所述衬底的一侧的表面制作加热源，所述加热源具有可与外电路实现电性连接的引线区；在加热源背离第一绝缘层的一侧的表面制作第二绝缘层；在第一绝缘层或第二绝缘层背离衬底的一侧的表面制作温度传感器；使温度传感器与引线区背离所述衬底的一侧形成向外暴露以与外电路实现电性连接的引线通道；在第二绝缘层背离加热源的一侧的表面制作黑体薄膜。所述定标黑体光源升温、降温速度快，温度稳定时间仅需5-10分钟，对于面积在5cm²的光源芯片，辐射温度达到500℃时，功耗仅在50W以下，并且体积小，易于集成在成像系统内部。

主权项

一种定标黑体光源的制备方法，包括如下步骤：提供薄片衬底，并在所述衬底表面制作第一绝缘层；在所述第一绝缘层背离所述衬底的一侧的表面制作加热源，所述加热源具有可与外电路实现电性连接的引线区；在所述加热源背离所述第一绝缘层的一侧的表面制作第二绝缘层；在第一绝缘层或第二绝缘层背离所述衬底的一侧的表面制作温度传感器；使所述温度传感器与所述引线区背离所述衬底的一侧形成向外暴露以与外电路实现电性连接的引线通道；在所述第二绝缘层背离所述加热源的一侧的表面制作黑体薄膜。