１９３ｎｍのレーザー検査システム

摘要

約１９３．４ｎｍの出力波長を生成するためのレーザーは、基本波レーザーと、光パラメトリック発生器と、第４高調波発生器と、周波数混合モジュールと、を備える。光パラメトリック発生器は、基本波レーザーに結合され、ダウンコンバートされた信号を生成することができる。第４高調波発生器は、光パラメトリック発生器または基本波レーザーに結合することができ、第４高調波を生成することができる。周波数混合モジュールは、光パラメトリック発生器及び第４高調波発生器に結合され、第４高調波とダウンコンバートされた信号の周波数の２倍との合計に等しい周波数でレーザー出力を生成することができる。