| 摘要 |
본 발명은 잉곳성장공정이 수행되는 공간을 제공하는 챔버 내부를 관찰하기 위한 뷰 포트로서, 상기 챔버 일측에 설치되며, 상기 챔버 내부와 연결된 홀을 갖는 바디부; 상기 바디부 상부에 배치되어, 상기 홀을 밀폐하면서 상기 챔버 내부의 빛을 투과하는 윈도우부; 및 상기 윈도우부에 설치되어, 상기 윈도우부의 하면을 클리닝하는 윈도우 클리너;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 제안되는 본 발명에 의하여 챔버의 밀폐상태는 유지하면서 효율적으로 뷰 포트의 글라스 오염을 세척할 수 있는 장점이 있다. 그리고, 이러한 뷰 포트를 통해 챔버 내부에서 성장하는 잉곳을 명확히 관찰할 수 있고, 성장되는 잉곳의 직경 등의 공정 데이터를 정확하게 측정할 수 있는 장점이 있다. 따라서, 정확하게 측정된 공정 데이터를 통해 공정조건을 제어하여, 고품질의 잉곳을 생산할 수 있는 장점이 있다. |
