基板処理装置および処理液吸引方法,申请号JP20120036372-传众专利搜索

发明名称	基板処理装置および処理液吸引方法
摘要
申请公布号	JP5891065(B2)	申请公布日期	2016.03.22
申请号	JP20120036372	申请日期	2012.02.22
申请人	株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス	发明人	石井淳一
分类号	H01L21/304;H01L21/306	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
主权项
地址