| 发明名称 |
マンガン含有化合物、その合成及びマンガン含有膜の堆積へのその使用 |
| 摘要 |
マンガン含有化合物、その合成及びマンガン含有膜の堆積へのその使用を開示する。開示のマンガン含有化合物は式（Ｉ）及び式（ＩＩ）の一方を有する：【化６】（式中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４及びＲ５は各々独立して水素、ハロゲン、直鎖、環状又は分岐炭化水素、第一級アミノリガンド（−ＮＨＲ）及び第二級アミノリガンド（−ＮＲＲ’）からなる群から選択され、Ｒ及びＲ’は独立してＨ又は直鎖、環状若しくは分岐炭化水素であるが、ただし、式Ｉ中のＲ１、Ｒ２又はＲ３及び式ＩＩ中のＲ４又はＲ５の少なくとも１つがアミノリガンドである）。【選択図】なし |
| 申请公布号 |
JP2016508497(A) |
申请公布日期 |
2016.03.22 |
| 申请号 |
JP20150555839 |
申请日期 |
2014.01.31 |
| 申请人 |
レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード |
发明人 |
ガティノ 論子 |
| 分类号 |
C07F19/00;C07F13/00;C23C16/18;C23C16/30;H01L21/316 |
主分类号 |
C07F19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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