| 摘要 |
본 발명은 저순도 인듐 금속과 주석 금속을 이용한 고순도 ITO 타겟용 분말의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 99.995%(4N5)이상의 고순도 ITO 타겟용 분말을 제조함에 있어서, 초기 파우더로써 전해정련 공정을 거치지 않은 저순도(98 ~ 99%) 인듐 금속과 주석 금속을 사용하여 종래의 제조방법보다 간단한 공정과 저비용으로 친환경적이고 경제적인 고순도 ITO 타겟용 분말을 제조할 수 있도록 하는 고순도 ITO 타겟용 분말의 제조방법에 관한 것이다. 이에 본 발명은 그래뉼 타입의 인듐 금속과 주석 금속을 무기산으로 용해시키는 산용해단계와, 상기 산용해단계에서 생성된 산용해액에 초순수를 투입하여 산용해액의 농도를 조절하는 농도조절단계와, 상기 농도조절단계를 거친 산용해액에 침전제를 투입하여 pH 4 ~ 9의 범위로 금속 수산화물을 침전시키는 침전단계와, 상기 침전단계를 거친 산용해액에 1.0 ~ 3.0M의 유기산을 투입하여 금속 수산화물을 금속 유기산염으로 결정화시키는 결정화단계와, 상기 결정화단계를 거쳐 생성된 금속 유기산염을 여과 및 세척하여 건조시키는 여과 및 수세단계와, 상기 여과 및 수세단계를 거쳐 회수된 금속 유기산염을 공기 중에서 가열하여 산화시키는 소성단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. |
