| 摘要 |
본 발명은 OLED 유기 박막의 생성을 위해 사용되는 증착기의 진공챔버 내에서 마스크 프레임 교체시 마스크 베이스 위에 위치하게 될 마스크 프레임이 정확한 위치에 안착될 수 있도록 유도해 주는 증착기의 마스크 센터링 블록을 제공하기 위한 것이다. 본 발명에 따른 증착기의 마스크 센터링 블록은, 기판 상에 박막의 유기물을 증착시키기 위한 증착기에서 증착기의 진공챔버 내에 장착되는 마스크 교체시 마스크 프레임이 마스크 베이스 위의 정확한 위치에 평탄하게 안착될 수 있게 하기 위하여 사용되는데, 각 마스크 베이스에는 좌우 및 전후 센터링 블록을 각각 구비하여 구성되고, 좌우 및 전후 센터링 블록은, 마스크 베이스에 장착되게 되는 고정블록부: 상기 고정블록부의 상부에 위치하게 되며, 양측면이 고정블록부와의 사이에 위치하는 볼베어링을 중심으로 일정 범위 내에서 회동 가능하도록 설치되고, 상면에 마스크 프레임이 안착되게 되는 프레임안착부를 구비하는 본체부; 본체부를 관통하도록 설치되고, 전면에 볼(ball)이 위치하며, 볼의 전후 이동량을 조절하기 위한 조절부재를 구비한 볼플란저를 각각 구비하여 구성되고, 좌우 센터링 블록은 마스크를 로딩시킬 때 마스크 프레임의 위치를 확인하기 위한 포지션센서를 더 구비하고 있는 것을 특징으로 한다. |
