| 摘要 |
（Ａ）６０重量％より多いポリアルキルシロキサンＤ４を含む液体ＳｉＯ２フィードストック材（１０５）を供給する工程、（Ｂ）気体ＳｉＯ２フィードストック蒸気（１０７）を生成するために、液体ＳｉＯ２フィードストック材（１０５）を蒸発させる工程、（Ｃ）気体ＴｉＯ２フィードストック蒸気（２０７）を生成するために、液体ＴｉＯ２フィードストック材（２０５）を蒸発させる工程、（Ｄ）ＳｉＯ２フィードストック蒸気（１０７）及びＴｉＯ２フィードストック蒸気を、それぞれＳｉＯ２粒子及びＴｉＯ２粒子に変える工程、（Ｅ）堆積面（１６０）上にＳｉＯ２粒子及びＴｉＯ２粒子を堆積して、チタンドープＳｉＯ２スート体（２００）を形成する工程、（Ｆ）チタンドープＳｉＯ２スート体をガラス化して、ＴｉＯ２濃度が５重量％〜１１重量％である合成石英ガラスを形成する工程を含む、チタンドープ合成石英ガラスの製造方法。【選択図】図１ |
