| 摘要 |
システムは、材料の表面層と相互作用可能でありかつ材料（４）の表面上にプラズマを生成するパルスレーザビームを発生させる単一パルスレーザ（６）と、材料の表面上にレーザビームを集束する装置（１０、１２）と、プラズマによって放射される光を収集する装置（１８、２０）と、収集した光のスペクトルを分析しかつスペクトル分析から表面層の元素組成（元素の性質および相対濃度）を決定する装置（２２）と、を含む。本発明によると、システムはまた、粒子を使用した追加の定性もしくは定量分析または検査のために、レーザビームの影響下で表面層から抽出された表面層を代表する粒子を吸引および収集する装置（３０、３２、３４）を含む。 |
