发明名称 原子間力顕微鏡プローブ構成の製造方法
摘要 An Atomic Force Microscopy probe configuration (6) is disclosed, comprising a cantilever (8), and a planar tip (19) attached to the cantilever (8), which only partially overlaps the planar tip (19), and extending along a longitudinal direction (x) thereof. The planar tip (19) is of a two-dimensional geometry having at least one corner (20) remote from the cantilever (8), which corner (20) during use contacts a surface (18) to be scanned.
申请公布号 JP5889510(B2) 申请公布日期 2016.03.22
申请号 JP20090140201 申请日期 2009.06.11
申请人 アイメックIMEC 发明人 トーマス・ハンチェル;ウィルフリート・ファンデルフォルスト;カイ・アルスティラ
分类号 G01Q10/00;G01Q60/24;G01Q60/38 主分类号 G01Q10/00
代理机构 代理人
主权项
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