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发明名称 半導体装置、及び半導体装置の製造方法
摘要
申请公布号 JP5889511(B2) 申请公布日期 2016.03.22
申请号 JP20090147818 申请日期 2009.06.22
申请人 ルネサスエレクトロニクス株式会社 发明人 分島 彰男;黒田 尚孝;中山 達峰
分类号 H01L27/095;H01L21/338;H01L21/822;H01L21/8232;H01L27/04;H01L27/06;H01L29/778;H01L29/812 主分类号 H01L27/095
代理机构 代理人
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