一种多晶硅片的制绒方法

摘要

一种多晶硅片的制绒剂，其特征在于包括如下组分及其体积配比组成：硝酸40%～55%；氢氟酸8%～12%；添加剂0.1%～0.5%；水32.5%～51.9%；添加剂包括由如下组分及其重量配比组成：阴离子表面活性剂10%～15%；亚硝酸盐5%～10%；水75%～85%。本发明还公开了利用制绒剂的制绒方法。本发明的制绒剂使用寿命较长，制绒时能有效减缓腐蚀速率，提高制绒质量。

主权项

一种多晶硅片的制绒方法，其特征在于包括如下步骤：a、在多晶制绒硝酸和氢氟酸混合液中，加入添加剂，循环30分钟使得添加剂和混合液充分混合得到制绒剂后投入生产，减重控制在0.36g～0.40g，要求表面无明显绒丝；b、扩散，指定绒面一侧作为扩散面，要求背靠背扩散，薄层电阻在15～80Ω/□之间，颜色呈咖啡色，且颜色均匀；表面清洁，无染色；c、湿法刻蚀，控制边缘电阻在30kΩ以上；d、减反射膜，在扩散面上沉积SiNx薄膜，厚度控制在75～85nm，颜色分布均匀为蓝色；e丝印烧结，用丝网印刷机先在背面印银铝电极烘干，再印铝浆烘干，最后在SiNx薄膜上印银电极烘干烧结；前述制绒剂体积配比如下：前述的添加剂由如下组分及其重量配比组成：阴离子表面活性剂  10％～15％；亚硝酸盐          5％～10％；水                75％～85％，所述的阴离子表面活性剂为十二烷基苯磺酸钠、月桂醇硫酸钠或硬脂酸中的至少一种。