| 摘要 |
본 발명은 대면적 기판에 물질을 증착하는 공정에서 필요한 오픈 마스크 구성에 관한 것으로, 기존에 금속으로 구성하는 오픈 마스크의 제작, 부착, 얼라인, 리프팅, 탈착 등의 공정에서 발생하는 고비용 및 불편을 해소하기 위한 것이다. 본 발명에 따르면, 이면에 점착제가 도포된 필름을 밴드형으로 한 필름 밴드를 기판의 개구부를 제외한 부분에 부착하여 간편하게 마스크를 구성할 수 있다. 또한, 적층 구조의 경우에도 점착력이 조절된 필름 밴드를 원하는 개구부 모양으로 순차적으로 적층 하여 적용이 가능하다. |
